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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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激光辅助固态薄膜淀积技术的进展
宋登元
1991, 15(5): 284-289.
关键词:
ArF准分子激光光刻的研究现状
宋登元
1999, 23(5): 288-291.
关键词: 光刻, 准分子激光, VLSI
Ar+激光诱导湿刻Si的特性研究
宋登元, 郭宝增, 李宝通
1999, 23(3): 190-193.
关键词: 激光, Si, 光化学腐蚀